- 更新:2023年01月18日
対向ターゲットスパッタ方式を使った独自の薄膜作製技術を持っています。 プラズマ空間と基板を分離することができ、低温の成膜が可能です。 プラズマフリーの基板上に反応性スパッタも高度な制御で可能です。
株式会社ヤシマ

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